中国芯片制造核心装备取得重要突破

   2026-01-18 60
核心提示:2026年1月17日,中核集团中国原子能科学研究院宣布,我国首台自主研发的串列型高能氢离子注入机(POWER-750H)成功实现稳定出束

2026年1月17日,中核集团中国原子能科学研究院宣布,我国首台自主研发的串列型高能氢离子注入机(POWER-750H)成功实现稳定出束,核心指标达到国际先进水平。这一突破标志着我国全面攻克了功率半导体制造链中的关键环节,成为全球少数掌握该技术全链路研发能力的国家之一,为高端芯片制造装备自主可控和产业链安全奠定坚实基础。


打破技术垄断:从“卡脖子”到“领跑者”


离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称芯片制造“四大核心装备”,是半导体制造中不可或缺的“刚需”设备。其中,高能氢离子注入机因技术壁垒高、研发难度大,长期被国外企业垄断,成为制约我国芯片产业升级的“卡脖子”环节。


中国原子能科学研究院依托核物理加速器领域数十年的技术积累,以串列加速器技术为核心,历时多年攻克了高能离子束流控制、精准注入、设备集成等关键难题,最终实现从底层原理到整机设计的完全自主化。该设备的成功研发,不仅打破了国外技术封锁,更使我国在功率半导体领域(如新能源汽车、工业控制芯片)的自主保障能力显著提升,为“双碳”目标下的绿色能源转型提供关键技术支撑。


全产业链协同:从“单点突破”到“系统攻坚”


此次突破并非孤立事件,而是中国芯片产业全链条协同创新的缩影。近年来,我国在芯片制造领域取得一系列进展:


  • 先进制程突围:中芯国际通过DUV光刻机结合多重曝光技术,实现等效7纳米制程量产,良率达70%-80%,解决华为麒麟芯片、昇腾AI芯片的“有无”问题;


  • 成熟制程巩固:28纳米及以上工艺良率稳定在95%以上,国产设备适配率超80%,满足国内九成工业控制、汽车电子需求;


  • 存储芯片领跑:长江存储232层3D NAND闪存量产,迫使三星降价30%应对竞争,Xtacking 3.0技术实现国际领先;


  • 设备材料国产化:北方华创、中微公司刻蚀设备进入5纳米产线,上海微电子28纳米浸没式光刻机进入产线验证阶段。


创新生态构建:从“技术追赶”到“生态引领”


技术突破的背后,是政策、资本与市场的三重驱动:


  • 政策支持:国家“强芯”战略持续加码,通过“揭榜挂帅”机制引导资源向关键领域集聚,推动重大项目落地;


  • 资本助力:2025年,摩尔线程、沐曦股份等GPU企业科创板上市,中芯国际市值突破万亿元,资本投入为技术研发提供“弹药”;


  • 区域集群效应:长三角、珠三角形成全链条创新集群,上海张江、深圳南山等地汇聚设计、制造、封装测试资源,培育出寒武纪、兆易创新等行业龙头。


全球竞争新格局:从“受制于人”到“开放合作”


面对外部技术封锁,中国芯片产业以自主创新为根基,同时以开放姿态融入全球产业链:


  • 技术输出:华为昇腾超节点技术与国际同行合作,推动全球算力标准制定;


  • 市场拓展:中芯国际在德国建厂,长江存储与西部数据成立合资公司,国产芯片加速“出海”;


  • 生态共建:DeepSeek大模型开放架构,吸引全球开发者共建生态,展现中国科技的影响力。


未来展望:从“突破卡脖子”到“引领新发展”


专家指出,中国芯片产业已进入“自主可控”与“全球协同”并重的新阶段。随着数字光源芯片先进封测基地等重大项目落地,以及5纳米以下先进工艺、3D DRAM堆叠技术的突破,中国有望在2026年底满足国内大部分芯片需求,并在功率半导体、AI芯片等领域形成全球竞争优势。


正如《经济学人》所言:“美国的封锁企图正在失败。”中国芯片产业的崛起,不仅是科技自立自强的缩影,更是全球科技竞争中一股不可忽视的力量。未来,中国将继续以创新为矛,以开放为盾,在芯片领域书写属于东方的新篇章。

 
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